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棱长 182.2±0.25 182.2±0.25
它的厚度 130±8μm
TTV ≤20μm
线痕 ≤13μm
电阻率 0.6-1.6Ω.cm
少子时间 ≥1000μs
氧分量 ≤ 5.75E + 17 at/cm3(11.5ppm)
碳分子量 ≤ 5E + 16 at/cm3(1ppm)