基本性资讯
底长 210±0.25
强度 130±8μm
TTV ≤20μm
线痕 ≤13μm
电阻率 0.6-1.6Ω.cm
少子时间 ≥1000μs
氧含氧量 ≤ 5.75E + 17 at/cm3(11.5ppm)
碳分量 ≤ 5E + 16 at/cm3(1ppm)