pa真人

基本性信息

棱长                                                                  182.2±0.25   183.75±0.25

高度                                                                    130±10/-8μm

TTV                                                                     ≤20μm

线痕                                       ;                              ≤13μm

电阻率         ;                                           0.4-1.6Ω.cm

少子生存期      ;                                            ≥1000μs

氧含磷量                                                    ≤ 5.75E + 17 at/cm³（11.5ppm）

碳含磷量                                                     ≤ 5E + 16 at/cm³（1ppm）