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底长                                                                  182.20±0.25   183.75±0.25



强度                                                                    130±8μm



TTV                                                                     ≤20μm



线痕                               ;                                      ≤13μm



电阻率                                                    0.6-1.6Ω.cm



少子时间                                                  ≥1000μs



氧含锌量                                                    ≤ 5.75E + 17 at/cm3(11.5ppm)



碳含量                                                     ≤ 5E + 16 at/cm3(1ppm)



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